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供氣系統材料選擇的基本原則是:一是不宜用非金屬材料,二是材料不吸附氣體、不產生氣體,三是不產生粒子。一般氣體管道宜采用無縫鋼管,當輸送氣體的純度≥99.99%時,管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管;管道與設備的連接段宜采用金屬管道,如選